機械設計 #20：クリーンルーム向け電動アクチュエータの選び方 — ISOクラス・発塵からメンテナンスまで
クリーンルーム向けの自動機を設計するとき、多くの人はすぐに、空気圧シリンダを電動アクチュエータに置き換えることを思い浮かべます。
理由はかなり分かりやすいです。
電動アクチュエータは、空気圧シリンダのような排気がありません。位置・速度・加速度・押し力をよりよく制御できます。正しく調整すれば、運動も滑らかで衝撃も少なくなります。
しかし、だからといって電動アクチュエータが自動的にクリーンというわけではありません。
電動アクチュエータの内部には、依然としてリニアガイド・ボールねじ・ベルト・軸受・グリス・モータケーブル・センサケーブル、そして場合によってはケーブルキャリアがあります。これらはすべて、種類を誤り、取り付けを誤り、保守を誤ると、粒子を発生し得ます。
ですから、クリーンルーム向けに電動アクチュエータを選ぶとき、「クリーンルーム対応」や「ISO Class 4」といったカタログの数行だけを見てはいけません。次を明確に理解する必要があります。
そのクラスを、どの条件で達成するのか？ サクションポートから真空吸引が必要か？ グリスは何か？ シール構造は十分密閉されているか？ ケーブルとケーブルキャリアは発塵しないか？ 保守で普通のグリスを使ってよいか？ 工場はメーカー要求の吸引流量を満たせるか？
この記事では、ISOクラス要求・発塵メカニズム・発塵低減技術・メーカー比較から、運転と保守で注意すべき点まで、クリーンルームで使う電動アクチュエータの選び方を記録します。
1. クリーンルームは「きれい」という感覚ではなく、ISOクラスで理解する
アクチュエータを選ぶ前に、クリーンルームがどのクリーン度を要求するかを確認しなければなりません。
よく使われる国際標準はISO 14644-1です。これは1 m³の空気中の粒子数を粒子サイズごとに数えて、クリーンルームを分類します。
クラスが小さいほど、環境は清浄です。
例えば：
- ISO Class 3–5：半導体・精密電子・光学の一部工程でよく見られる。
- ISO Class 5–8：医薬品・食品・化粧品・医療機器・組立クリーンルームで見られる。
- ISO Class 7–8：塵の管理は必要だが、フロントエンド半導体ほど極端でない多くの産業用途で一般的。
誤解しやすい点：クリーンルーム要求は、機械が稼働している状態で考えなければなりません。
止まっている機械はあまり発塵しません。しかし動くと、ガイドが動き、ボールねじが回り、ケーブルが曲がり、シールが摺動し、グリスがかき混ぜられます。まさに稼働状態こそ、アクチュエータが本当にクリーンルームに適しているかを露わにする場所です。
2. ISO 14644-1とFED-STD-209Eの参考表
以前は、多くの工場や古い資料が、旧米国標準FED-STD-209EによるClass 100・Class 1000・Class 10000という呼び方を使っていました。
この標準は廃止されましたが、呼び方は習慣として残っています。ですから古い仕様を読んだり顧客と話したりするとき、2つの呼び方の相対関係を理解しておくとよいでしょう。
| ISO 14644-1 | 1 m³空気中の参考粒子上限 | 旧FED-STD-209E | 用途例 |
|---|
| ISO Class 1 | ≥0.1 µm: 10 | - | 非常に高度な半導体研究 |
| ISO Class 2 | ≥0.1 µm: 100 | - | 特殊な超清浄環境 |
| ISO Class 3 | ≥0.1 µm: 1,000 | Class 1 | 半導体、リソグラフィ、ウェーハ工程 |
| ISO Class 4 | ≥0.1 µm: 10,000 | Class 10 | エッチング、成膜、精密工程 |
| ISO Class 5 | ≥0.1 µm: 100,000；≥0.5 µm: 3,520 | Class 100 | 半導体後工程、細胞培養、無菌医薬 |
| ISO Class 6 | ≥0.5 µm: 35,200 | Class 1,000 | 電子部品組立、光学、無菌室 |
| ISO Class 7 | ≥0.5 µm: 352,000 | Class 10,000 | 精密機器組立、医薬、食品 |
| ISO Class 8 | ≥0.5 µm: 3,520,000 | Class 100,000 | 医薬、食品、手術室、一般クリーンブース |
この表は技術的な打ち合わせの参考として見るべきです。実際に設計するときは、顧客の正式仕様と、プロジェクトで適用される標準を確認しなければなりません。
3. 電動アクチュエータはどこから発塵するのか
電動アクチュエータは空気圧シリンダのような排気はありませんが、運動する機械機構であることに変わりありません。
主な粒子源は次を含みます。
3.1. 機械的摩耗
アクチュエータ内部には通常、次があります。
- リニアガイド
- ボールねじ
- 軸受
- 種類によりベルトやプーリ
- スライダ
- シールシート／シールバンド
- 摺動カバー
これらが動くと、ボールやローラがレールに接触し、ボールねじがナット内で回り、軸受が回転し、シールがカバー面を摺動します。よく潤滑され、よく設計されていても、微視的な摩耗は起こり得ます。
普通の機械ではこの水準は無視できるかもしれません。しかしクリーンルームでは、非常に小さな粒子でも問題になり得ます。
3.2. グリスや油の飛散
ガイドとボールねじにはグリスが必要です。
アクチュエータが高速で走り、大きな加減速や多くの繰り返しストロークをすると、グリスがかき混ぜられ、飛散し、わずかに蒸発することがあります。その一部が粒子やアウトガスの源になり得ます。
ですからクリーンルーム用アクチュエータは通常、普通の工業用グリスではなく、低発塵グリス／低アウトガスグリスを使います。
3.3. ケーブルとケーブルキャリア
これは非常に軽視されやすい発塵源です。
電動アクチュエータには、モータ・エンコーダ・センサ・ブレーキ、時にはフィールドバスやI/Oのケーブルが必要です。軸が動くなら、ケーブルも往復して曲がる必要があります。
ケーブルがケーブルキャリア内にあると、ケーブルはキャリアに擦れたり、互いに擦れたりします。摩耗したケーブル被覆は樹脂粒子を生みます。
清浄なアクチュエータでも、クリーンルームに適さないケーブルキャリアと組み合わせると、システムは要求を満たさないことがあります。
3.4. 機械的衝撃と振動
アクチュエータが急停止する、エンドストッパに当たる、ペイロードが強く振動すると、衝撃力がガイド・ボールねじ・軸受・カバーの摩耗を増やし得ます。
クリーンルームでは、ショック低減は機械を守るだけでなく、発塵を減らすためでもあります。
4. クリーンルームアクチュエータの発塵低減、3つの方向
メーカーは通常、次の3方向を組み合わせて使います。
- 発生源で発生を減らす
- 粒子を内部にとどめる
- 吸引で粒子を外へ引き出す
言い換えれば：
より少なく発塵する。 発生したら外へ出さない。 それでも出るおそれがあれば吸い取る。
5. 低発塵グリス：どんなグリスでも使えるわけではない
クリーンルームアクチュエータ用のグリスは、普通の工業用グリスと異なります。
よくある要求：
- 粒子の発生が少ない
- 蒸発が少ない
- アウトガスが少ない
- 高速時に飛散しにくい
- ガイド・ボールねじ・シールと適合する
- アクチュエータのクリーン性能を低下させない
実際には次のような種類に出会うことがあります。
- THK AFE-CAグリス
- NSK LG2 / LGUグリス
- メーカー指定のフッ素グリスやクリーンルームグリス
非常に重大な間違いは、クリーンルームアクチュエータを普通のグリスで保守することです。
機械は動くかもしれませんが、低発塵性能はほぼ台無しになります。普通のグリスは、クリーンルーム用に設計されたグリスとは異なり、飛散・アウトガス・塵の保持をします。
ですから保守資料には次を明記しなければなりません。
- どのグリスを使うか
- メーカーのグリス型番
- 塗り方
- 塗布量
- 塗布周期
- メーカーが許可しない限り普通のグリスの使用禁止
これは小さなことではありません。クリーンルームでは、誤ったグリスを塗ると、清浄なアクチュエータを汚染源に変え得ます。
6. シールシート・シールバンド・フルカバー構造
クリーンルームアクチュエータで非常に一般的な技術が、スライダのすきまを覆うシールシート／シールバンドの使用です。
アクチュエータのスライダは動く必要があるため、アクチュエータ本体には常にスライダが通る開口部があります。よく覆わないと、内部で発生した粒子がこのすきまから外へ出得ます。
シールシートは通常、薄いシートで、ステンレスや適した材料で、アクチュエータ本体に沿って走り開口部を覆います。
この構造は次の役割を果たします。
- 内部粒子が外へ出るのを制限する
- 外部の塵がアクチュエータ内へ入るのを制限する
- グリスと摩耗塵を管理された領域にとどめる
- クリーンルームでの使用性を高める
ただし、シールも摩擦面です。設計が悪い、取り付けを誤る、または破損すると、発塵源になり得ます。
アクチュエータを選ぶときは、次を見ましょう。
- シールシート／シールバンドはあるか？
- シールの材料は何か？
- フルカバー構造はあるか？
- スライダがシールを破ったり偏らせたりしないか？
- 定期的なシール点検が必要か？
- カバー領域は掃除しやすいか？
7. サクションポート：高いクラスを達成するには通常、吸引が必要
高いクリーンルームクラスでは、多くのアクチュエータはシールだけに頼りません。
サクションポート／真空ポートが必要です。
サクションポートは、アクチュエータ本体の吸引接続口です。工場の吸引システムに接続すると、アクチュエータ内部の空気が連続して吸い出されます。そのため、アクチュエータ内部はわずかに負圧になる傾向があり、粒子がすきまから外へ出にくくなります。
これはカタログを読むとき非常に重要な点です。
ISO Class 3やISO Class 4を達成すると記載された製品でも、付随条件が次であることがあります。
一定の流量でサクションポートから吸引する必要がある。
つまりアクチュエータは、あらゆる条件でそのクラスを自然に達成するのではありません。正しく取り付け、正しく吸引し、吸引流量が十分で、試験環境がメーカー公表条件に合致するときに達成されるのです。
サクションポート付きを選ぶときは、次を確認しましょう。
- 吸引は必須かオプションか？
- 要求される吸引流量はいくつか？
- 単位はL/minかNL/minか？
- 要求される負圧はいくつか？
- 吸引は1点か複数点か？
- 工場は十分な排気／真空システムを持つか？
- 複数のアクチュエータが同時に吸引する場合、合計流量は十分か？
- 吸引ラインにフィルタやトラップはあるか？
- 吸引を失ったとき、アクチュエータはまだクリーンクラスを達成するか？
吸引を最初から考えないと、後で機械設置時に不具合が生じやすくなります。真空ポートが足りない、吸引チューブが小さすぎる、配管が長すぎる、実流量が不十分、排気システムへの接続点がない、などです。
8. アクチュエータだけでなく、取り付け条件も選ぶ
クリーンルームアクチュエータでは、カタログは通常、試験条件を示します。
例えば：
- 取り付け方向
- 速度
- 加速度
- 荷重
- ストローク
- 吸引流量
- グリス
- 測定クラス
- 測定粒子サイズ
- 試運転時間
実際の用途がより速く、より重く、より高加速で、または正しい吸引流量でないと、実結果は異なり得ます。
ですからアクチュエータを選ぶときは、カタログ条件と実機条件を比較しましょう。
- 実速度
- 加速／減速
- ペイロード
- デューティサイクル
- ストローク
- スライダへのモーメント荷重
- 取り付け方向：水平・垂直・反転・傾斜
- 温度
- ワークに対するアクチュエータ位置
- ケーブルキャリアの有無
- 吸引ラインの有無
- 保守アクセスの有無
クリーンルームアクチュエータは、型番で選んで取り付けるべきではありません。システム全体で選ばなければなりません。
9. クリーンルームアクチュエータ各社の比較表
下表は初期選定を方向づけるための概観です。実際のモデルを選ぶときは、最新カタログ・試験条件・プロジェクトのクリーンクラス要求を確認する必要があります。
| メーカー | 代表シリーズ | アクチュエータ種類 | 代表ISOクラス | 発塵低減技術 |
|---|
| IAI | EleCylinderクリーン仕様、RCP6CR、RCS4CR、ISDBCR | スライダ、ロッド、ロータリ、スカラ | モデルによりClass 2.5 / 3 | ステンレスシート、内部吸引、ローラ構造、低発塵グリス |
| THK | クリーンシリーズ CSKR、CGL、CKSF、CKRF | スライダ | Class 4、通常吸引が必要 | 専用シールシート、フルカバー、サクションポート、AFE-CAグリス |
| SMC | クリーンシリーズ LEFS、LEJS | スライダ、ロッド | モデルによりClass 4 | シールバンド、サクションポート、低発塵グリス |
| オリエンタルモーター | EZSクリーンルームモデル | スライダ | Class 3、通常吸引が必要 | ローラ構造、ステンレスシート、サクションポート、低発塵グリス、吸引流量を明記 |
| NSK | モノキャリアクリーンタイプ、低発塵／除染対応アクチュエータ | スライダ | ラインによりClass 4 / 5 | シールベルト、NSK K1、LG2/LGUグリス |
| CKD | EJSG低発塵環境タイプ | スライダ | モデルによりClass 3 | フルカバー、サクションポート、低発塵グリス |
| ヤマハ発動機 | クリーンルームロボット：単軸、直交、スカラ | ロボット／単軸／直交／スカラ | モデルによる | 密閉構造、吸引効率の改善、ロボットシステム設計 |
注意：「代表ISOクラス」は、そのメーカーのすべてのモデルがそのクラスを達成するという意味ではありません。正確なモデル・正確なオプション・正確な吸引条件を読まなければなりません。
10. IAI：広いラインナップ、高いクラス、クリーン自動化の多くの選択肢
IAIは、自動化向けの電動アクチュエータと小型ロボットで非常に強いメーカーです。
クリーンルーム向けに、IAIには次のような多くのラインがあります。
- EleCylinderクリーン仕様
- RCP6CR
- RCS4CR
- ISDBCR
- スライダタイプ
- ロッドタイプ
- ロータリタイプ
- ラインによりスカラクリーン仕様
IAIの強みは広いラインナップと、製品・条件によりISO Class 2.5 / 3の領域まで達し得る非常に高い清浄度のモデルがあることです。
よくある技術：
- 密閉するステンレスシート
- 内部吸引
- 摩擦と発塵を減らすローラ構造
- 低発塵グリス
- 多様な機構形態の設計
IAIは次のときに適します。
- ストローク・荷重・速度の多くの選択肢が必要
- 空気圧シリンダを電動シリンダに置き換える
- 半導体や精密電子の機械を設計する
- 高いクリーンルームクラスが必要
- 複数のアクチュエータ軸を同期させる
ただしIAIを選ぶときも、クラス達成条件、特に吸引要求・取り付け方向・運転条件をよく確認する必要があります。
11. THK：ガイド・カバー・グリスの基盤に強い
THKは直動、特にLMガイドに強いメーカーです。
THKのクリーンアクチュエータは通常、次のようなクリーンシリーズに属します。
一部のラインはより良い低発塵構造を目指し、一部はコストと性能のバランスをとる簡易クリーン構造です。
注目点：
- フルカバー構造
- 専用シールシート
- サクションポート
- 低発塵グリスAFE-CA
- 信頼できるガイド／ボールねじの基盤
THKでは、多くの製品が公表クリーンクラスを、サクションポートからの吸引がある条件で達成することに注意が必要です。ですからレイアウト段階から吸引システムを考慮しなければなりません。
THKは次のときに適します。
- 安定したスライダ機構が必要
- ガイドとボールねじの信頼性を優先する
- 明確な技術資料で選びたい
- 清浄度・剛性・寿命のバランスが必要
12. SMC：既存の空気圧・自動化システムと組みやすい
SMCは空気圧で有名ですが、SMCの電動アクチュエータも自動機で多く使われるラインがあります。
出会い得るクリーンルームライン：
- LEFSクリーンシリーズ
- LEJSクリーンシリーズ
- スライダタイプ
- 構成によりロッドタイプ
よく使う技術：
- シールバンド
- サクションポート
- 低発塵グリス
- グリス飛散を減らし異物を制限する構造
機械にすでに多くのSMC機器を使っているなら、SMCには利点があります。
- 空気圧システム
- バルブ
- センサ
- スピードコントローラ
- 真空部品
- SMCコントローラ／ドライバ
メーカーを揃えると、購買・スペア部品管理・サポートが容易になり得ます。
しかしSMCに慣れているという理由で、クリーンクラスの条件を飛ばしてはいけません。各モデルで、カタログと吸引条件を確認しなければなりません。
13. オリエンタルモーター：モータ・コントローラと定量的な吸引情報に強い
オリエンタルモーターにはEZSシリーズ クリーンルーム対応のようなアクチュエータがあります。
注目点は、一部のモデルが吸引条件を明確に公表していることです。例えば、モデルにより約20 L/min以上といった具体的な吸引流量要求です。
設計者にとって、このような定量情報は非常に価値があります。次を確認できるからです。
- 工場は十分な吸引システムを持つか？
- 吸引チューブの径をいくつにするか？
- 複数のアクチュエータがある場合、合計吸引流量はいくつか？
- 専用の吸引マニホールドが必要か？
- 吸引が不十分なとき、クリーン性能はどれだけ下がるか？
オリエンタルモーターは次のときに適します。
- モータ／コントローラと明確に一体化したアクチュエータが欲しい
- 定量データで選ぶ必要がある
- モデルによりISO Class 3のような高いクリーンクラスが必要
- モータ制御の使いやすさを優先する
14. NSK：ボールねじ・モノキャリア・潤滑技術に強い
NSKは軸受・ボールねじ・直動に非常に強い基盤を持ちます。
モノキャリアクリーンタイプは、ボールねじとリニアガイドを一つのコンパクトなユニットに統合したものです。
NSKの強みは次にあります。
- 高品質なボールねじとガイド
- シールベルト／カバー
- 低発塵グリスLG2 / LGU
- 潤滑ユニットNSK K1
- 長寿命と保守低減を目指す
NSK K1は注目点です。油を含浸した高分子材料による潤滑技術で、長期にわたり潤滑を維持し、一部の用途で保守の必要を減らします。
さらにNSKは、再生医療や無菌製造のような、過酸化水素などの除染工程に耐える必要があり得る分野向けに、低発塵・除染対応アクチュエータの開発方向も持っています。
NSKは次のときに適します。
- 高い機械的信頼性が必要
- コンパクトなボールねじ＋ガイドのユニットが欲しい
- 長寿命潤滑を優先する
- 保守を限定したい要求がある
- 医療・医薬・無菌の用途で特別な考慮が必要
15. CKD：クリーンアクチュエータと自動化機器の強み
CKDは空気圧・流体制御・電動アクチュエータを持ちます。
クリーンルームアクチュエータでは、EJSG低発塵環境タイプに出会い得ます。
よくある特徴：
- フルカバー構造
- サクションポート
- 低発塵グリス
- モデルによりISO Class 3を目指すライン
- 各社のモータを組み合わせる柔軟性
CKDは、同じエコシステムに多くのクリーン空気圧部品・フィルタ・バルブ・関連機器があることも強みです。
CKDは次のときに適します。
- 機械が多くのCKD機器を使う
- クリーン空気圧部品と電動アクチュエータを組み合わせたい
- フルカバーと吸引の低発塵ソリューションが必要
- モータ選択の柔軟性が欲しい
16. ヤマハ発動機：ロボットシステムの方向で選ぶ
ヤマハ発動機は産業用ロボット、単軸ロボット・直交ロボット・スカラロボットに強いです。
クリーンルーム向けに、ヤマハは単体のアクチュエータだけでなく、通常ロボットシステムを目指します。
- 単軸クリーンロボット
- 直交クリーンロボット
- スカラクリーンロボット
- モデルによるクリーンタイプのライン
強みはロボットの全体設計です。
- 密閉構造
- 吸引効率の改善
- ロボット運動に最適化
- 単体アクチュエータではなく軸系全体で展開できる
ヤマハは次のときに適します。
- クリーンルームでピック＆プレースロボットが必要
- スカラクリーンタイプが必要
- 複数軸同期の直交系が必要
- 各軸を自分で組み合わせるのではなく、システムで選びたい
機構が単純な単軸だけなら、単軸アクチュエータメーカーのほうが選びやすいかもしれません。しかし課題がクリーンルーム内のロボット全体なら、ヤマハは見る価値のある選択肢です。
17. ケーブルキャリア：非常に忘れられやすい発塵源
実際の失敗の一つは、クリーンルームアクチュエータを非常に慎重に選んだのに、ケーブルキャリアは普通のものを選ぶことです。
ケーブルキャリアは連続して往復します。内部にはモータ・エンコーダ・センサのケーブル、時にエアチューブや真空チューブがあります。設計が悪いと、ケーブルは互いに擦れたり、キャリアに擦れたりします。
その結果、ケーブル被覆とキャリア樹脂が摩耗し、粒子を作ります。
クリーンルームでは、次を検討しましょう。
- 低発塵タイプのケーブルキャリア
- クリーンルーム対応ケーブル
- ケーブルを分けるセパレータ
- ケーブルに合った正しい曲げ半径
- キャリアに多くのケーブルを詰めすぎない
- ケーブルをねじったり交差させたりしない
- チューブ／ケーブルを鋭い縁に擦れさせない
- 試運転後の塵の蓄積を確認する
一部のクリーンタイプのケーブルキャリアは、ラインと条件によりISO Class 1や2を目指せます。しかし、正しいサイズ・正しい材料・正しいレイアウトを選ばなければなりません。
安いケーブルキャリアがクリーン設計全体を台無しにしないようにしましょう。
18. 保守：絶対に普通のグリスを使わない
クリーンルームアクチュエータは、正しく保守されて初めて性能を保てます。
最も危険な点はグリスです。
普通の工業用グリスで保守すると、アクチュエータは低発塵能力を失い得ます。さらに悪いことに、普通のグリスがガイド・ボールねじ・シールに入ると、元の状態に戻すのは非常に困難です。
保守の基本手順には次を含めるべきです。
- 機械の電源を切り、安全を確保する。
- メーカー資料を確認し、グリス種類を確定する。
- 適切なクリーンワイプで古いグリスを拭く。
- 布のくず・繊維・異物をアクチュエータに落とさない。
- 正しい新しいグリスを、適量、薄く均一に塗る。
- スライダを手で数回動かし、グリスを均等に分布させる。
- 余分なグリスがあれば拭く。
- シールシート・吸引チューブ・ケーブルキャリアを確認する。
- 実サイクルに戻す前に低速で試運転する。
よくある保守の目安は次です。
約100 kmの走行、または3〜6か月
ただしこれは参考目安にすぎません。実際の周期は、カタログ・デューティサイクル・荷重・速度・環境・工場要求に従う必要があります。
アクチュエータが高速・高デューティ・厳しいクリーンクラスなら、点検周期はより短くする必要があるかもしれません。
19. クリーンルーム向け電動アクチュエータ選定チェックリスト
設計を確定する前に、次の点を確認しましょう。
19.1. クリーンルーム要求
- 要求ISO Classはいくつか？
- どの粒子サイズで測るか？
- 稼働時か静止時の要求か？
- ESD要求はあるか？
- アウトガスや特殊材料の要求はあるか？
- 除染工程や洗浄薬品はあるか？
19.2. アクチュエータ
- アクチュエータは正しいクリーンルームタイプか？
- 公表クラスはいくつか？
- そのクラスは吸引が必要か？
- 速度・加速度・ペイロード・モーメントは公表条件内か？
- 取り付け方向は適切か？
- シールシート／シールバンドはあるか？
- フルカバー構造はあるか？
- グリスはどの低発塵タイプか？
- スペア部品と保守資料はあるか？
19.3. 吸引／排気
- サクションポートはあるか？
- 要求吸引流量はいくつか？
- 工場は十分な流量を持つか？
- 複数アクチュエータが同時に吸引する場合、合計流量は計算したか？
- 吸引チューブは長すぎ・小さすぎないか？
- 吸引喪失を監視するか？
- 必要なら吸引ラインにフィルタ／トラップはあるか？
19.4. ケーブルとケーブルキャリア
- ケーブルはクリーンルーム対応か？
- ケーブルキャリアは低発塵タイプか？
- ケーブルの擦れを避けるセパレータを使うか？
- 曲げ半径は正しいか？
- ケーブルは引っ張られ・ねじれ・カバーに擦れないか？
- 試運転後、キャリア内に塵が発生するか？
19.5. 保守
- 指定グリスは何か？
- 保守指示に普通のグリス禁止はあるか？
- 潤滑周期はkmか時間か？
- グリス塗布・清掃・シール交換の空間はあるか？
- 吸引チューブとケーブルキャリアを容易に点検できるか？
- 正しいクリーンワイプ手順はあるか？
19.6. 全体レイアウト
- アクチュエータは製品の上にないか？
- 粒子が出た場合、ワークに落ちないか？
- ダウンフローを活用しているか？
- 局所排気は必要か？
- 錆びやすい、またはコーティングが剥がれる材料はないか？
- ケーブル／チューブは製品エリアを通らないか？
20. まとめ
電動アクチュエータは、特に位置・速度・加速度の制御と衝撃低減が必要なとき、クリーンルームにとって非常に強い選択肢です。
しかし電動アクチュエータは、排気がないというだけで自動的に清浄になるわけではありません。
発塵源は、ガイド・ボールねじ・グリス・シール・ケーブル・ケーブルキャリアから来得ます。高いクリーンクラスでは、サクションポートと実際の吸引流量が、アクチュエータ本体に劣らず重要です。
クリーンルーム向けに電動アクチュエータを選ぶときは、システムとして見る必要があります。
- クリーンルームはどのクラスを要求するか？
- アクチュエータはどの条件でそのクラスを達成するか？
- 吸引は必要か？
- グリスとシールは正しいクリーンタイプか？
- ケーブルキャリアは発塵しないか？
- 保守は正しいグリスを使うか？
- レイアウトは粒子が製品に落ちるのを防ぐか？
一言で言えば：
クリーンアクチュエータは、カタログの単なる型番ではない。 それは、アクチュエータ・グリス・シール・吸引・ケーブル・レイアウト・保守の組み合わせである。
最初から正しく選べば、機械はより清浄で、より安定し、クリーンルームに入れた後の手直しが減ります。
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